等离子阵列

产品特征:①低压微波等离子源;②可扩展和紧凑式设计;③应用范围广;④等离子密度高;⑤效率高;⑥低伤害;⑦适用于定制系统

      双等离子体的组合可用于获得二维等离子体阵列。单源及2、4、8平行

排列的等离子体可用于表面活化、刻蚀、沉积等等离子体辅助表面处理。

       双等离子体是一种不需要磁场的直接微波等离子体源。简单地说,它的

工作原理就像被微波激发的反向发光管。典型的双质体是在低压下工作,从

1000pa至10pa。

       由两个磁控管产生的频率为2.45 GHz的微波被送入离子线两端。放电在

外低压区点燃,随着微波功率的增加,等离子体沿管道两端生长,形成轴向

均匀的等离子体。



       产品特征:

          - 低压微波等离子源

        - 可扩展和紧凑式设计

        - 应用范围广

        - 等离子密度高

        - 效率高

        - 低伤害

        - 适用于定制系统



        可选项

         - 气体喷淋

         - 泵装置

         - 压力计

         - 等离子体检测

         - 真空组件

         - 定制化系统

         - 磁约束   



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产品名称: 等离子阵列
产品型号:
产品展商: MUEGGE
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简单介绍

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