平面等离子源

平面等离子源类似于双等离子体阵列。在这里,平行的石英管被组合成一个单独的石英石板材,将正常的压力区域从低压区分离出来。微波被送入一个曲流状的结构。 利用这种结构,微波均匀地通过石英石板材,在低压区石英石板材表面形成均匀的等离子体。

产品特征:

平面等离子源的独特特性为以下领域提供了前沿技术。

高强度等离子体直接作用于基板上

硅、氮化硅、氧化硅的各向同性蚀刻,具有优异的腐蚀速率

- 光刻胶剥落在不同的材料上,如硅、氧化硅、金属、高钾、低钾材料。

- 柔性PCB电路板:钻孔和去污

- 表面处理,如硅表面的氮化或氧化

- 后端应用,如晶圆片细化和应力消除。


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产品名称: 平面等离子源
产品型号:
产品展商: MUEGGE
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简单介绍

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