德国MUEGGE-SU8去胶机

MUEGGE公司针对MEMS应用研发生产的MUEGGE-R3T SU-8剥离工具MA3000D-231BB/STP2020是市场上前沿的可快速干蚀刻厚SU-8光刻胶的工具; 产品优势: - 纯化学腐蚀,不受离子腐蚀;因此,高选择性是可以实现的; - 致密等离子体的激发导致大量的自由基产生,这是启动剥离过程所必需的; - 与传统等离子体相比,远程等离子体在腔内的热负荷要小得多。

产品简介


产品特性



       MUEGGE公司针对MEMS应用领域的MUEGGE-R3T SU-8剥离工具MA3000D-231BB / STP2020是该领域前沿的能够快速干蚀刻厚SU-8光刻胶的技术


- 采用独特的氧化铝水冷等离子体区,保证了等离子体室的良好使用寿命

- 非常高的蚀刻率和较低的成本
- 由于CF4和NF3等暖化气体的高度解离,因此具有很高的环境符合性。





- 纯化学腐蚀,不受离子腐蚀;因此,高选择性是可以实现的;
- 致密等离子体的激发导致大量的自由基产生,这是启动剥离过程所必需的;
- 与传统等离子体相比,远程等离子体在腔内的热负荷要小得多。



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产品名称: 德国MUEGGE-SU8去胶机
产品型号: MA3000D-231BB
产品展商: MUEGGE
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简单介绍

德国MUEGGE-SU8去胶机  的详细介绍

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