等离子阵列

       双等离子体的组合可用于获得二维等离子体阵列。单源及2、4、8平行排列的等离子体可用于表面活化、刻蚀、沉积等等离子体辅助表面处理。

       双等离子体是一种不需要磁场的直接微波等离子体源。简单地说,它的工作原理就像被微波激发的反向发光管。典型的双质体是在低压下工作,从

1000pa至10pa。

       由两个磁控管产生的频率为2.45 GHz的微波被送入离子线两端。放电在外低压区点燃,随着微波功率的增加,等离子体沿管道两端生长,形成轴向

均匀的等离子体。





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