平面等离子源

        平面等离子源类似于双等离子体阵列。在这里,平行的石英管被组合成一个单独的石英石板材,将正常的压力区域从低压区分离出来。微波被送入一个曲流状的结构。

        利用这种结构,微波均匀地通过石英石板材,在低压区石英石板材表面形成均匀的等离子体。

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