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RPS远程等离子源

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自由基等离子体源（远程等离子体源）

产品型号：MA3000C-713BB

等离子体组件

微波功率[W]： 3000
频率[MHz]： 2450
过程气体： O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4和其他氟机气体
工艺流程：蚀刻和沉积
输出连接器类型：ISO-K 63
等离子体室材料：陶瓷
电源标称电压[V]： 230/208
输出连续波[W]： 3000
外部尺寸[mm]： 310,20*346,50*488,30（宽*高*深）
重量[kg]： 29

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